Microelectrónica/Paneles Planos

Resumenes Tecnicos

TB 72: Planta química china optimiza tratamiento del agua reemplazando la OI de doble paso con un sistema de OI simple y Contactores Liqui-Cel®
La electrodesionización (EDI) se utiliza ampliamente en muchos sistemas de tratamiento del agua industrial en todo el mundo. A los efectos de maximizar la estabilidad operativa y la expectativa de vida de un sistema de EDI, fueron diseñados frecuentemente con OI (ósmosis inversa) de doble paso utilizando un pretratamiento de inyección de soda cáustica.

TB 46: Los contactores de membrana mejoran el rendimiento de la EDI
Las torres de descarbonización Liqui-Cel® se utilizan comúnmente para extraer CO2 después de la RO y antes de la EDI para un mejor rendimiento.

TB 44: Control preciso del O2 y N2 disueltos
Control preciso de los gases O2 y N2 en aplicaciones de limpieza de placas de contacto de semiconductores.

TB 33: Extracción de oxígeno del agua a 3 ppb en IMEC
La planta de investigación de semiconductores utiliza los contactores de desgasificación Liqui-Cel® para una extracción de O2 a 3 ppb del agua.

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Por más de 15 años, la industria de la microelectrónica ha utilizado los contactores de membrana Liqui-Cel® para extraer el oxígeno y el dióxido de carbono del agua de DI utilizada en los procesos de fabricación de placas de contacto de semiconductores. Los contactores Liqui-Cel pueden extraer fácilmente el oxígeno disuelto hasta 1 ppb o el dióxido de carbono hasta 1 ppm.

Las placas de contacto de los semiconductores y los monitores de paneles planos pasan por un proceso de varias etapas, en que las capas se exponen y revelan fotográficamente. Debido a que se procesan todas las capas, se necesita agua ultrapura para los residuos de materiales de procesamiento de la placa de contacto. Si hay gases en el agua, pueden depositarse en la superficie de la placa de contacto y causar defectos en ella.

Además, EDI y CDI se han convertido en una tecnología común para el intercambio iónico en la industria de los semiconductores. Estas tecnologías funcionan con mayor eficacia si primero se extrae el CO2 del agua. El exceso de CO2 en el agua sobrecarga la EDI y requiere la instalación de más chimeneas de EDI que las necesarias. Además, la carga de CO2 tiene un impacto negativo en las salidas de sílice y boro de las tecnologías EDI/CDI.

Los contactores Liqui-Cel se han convertido en la norma de desgasificación en la industria de la microelectrónica y paneles planos debido a que son limpios, tienen muy pocos extraíbles y no tienen un impacto negativo en la calidad del agua. Además, tienen una superficie 10 veces mayor que un desaireador de vacío, volviéndolos compactos para que se puedan instalar prácticamente en cualquier lugar de un edificio. A diferencia de las torres de vacío, son modulares y se pueden ampliar de acuerdo con los cambios en las especificaciones de la planta. Si las necesidades de volumen de agua aumentan, o la especificación de oxígeno disminuye, se pueden agregar más contactores a un sistema para que satisfaga las nuevas necesidades.

Por más de 15 años, los contactores de membrana han sido aceptados y bien recibidos en esta industria. 

Documentos Técnicos

Uso de los contactores de membrana para la extracción de CO2 a fin de aumentar la duración del lecho de resina
Este estudio de caso analiza los ahorros operativos y los mejoramientos de la eficacia en City Public Service de San Antonio, Texas.  Ellos eligieron los contactores Liqui-Cel en lugar de un desaireador de tiro forzado para la extracción de CO2 del agua a fin de aumentar la duración del lecho de resina, reducir los costos operativos y eliminar la necesidad de agregar sustancias químicas.

Contactores de membrana: una introducción a la tecnología
Este documento proporciona una buena visión de la tecnología de contactores de membrana. Se analizan los principios del funcionamiento de los contactores de membrana y de transferencia de masa.

Agua ultrapura: sistemas para microelectrónica
Este artículo analiza el uso de los contactores de membrana Liqui-Cel®, como la tecnología de desgasificación y extracción de oxígeno utilizada en las nuevas plantas de semiconductores en lugar de tecnologías anteriores, como las torres de vacío.

Procesamiento de membrana para el tratamiento del agua en la industria de los semiconductores
Este documento analiza el circuito UPW total en la planta de semiconductores. La desgasificación con membrana sigue siendo la tecnología del futuro para la desoxigenación a 1 ppb.

Membranas para la extracción de oxígeno en el procesamiento de semiconductores de 300 mm
Este documento analiza la forma en que se pueden cumplir las bajas especificaciones de oxígeno en el procesamiento de semiconductores de 300 mm con las membranas de desgasificación.

Extracción de bajos niveles de oxígeno de Lucent Technologies
Este artículo resume un estudio de caso en que se utilizan desaireadores de membrana Liqui-Cel® en Lucent Technologies para extraer el oxígeno del agua a 10 ppb.

VLSI escoge los contactores Liqui-Cel en lugar de las torres de vacío convencionales para la desaireación
Este documento describe el proceso y la tecnología que evaluó VLSI para su planta de San Antonio, Texas. Los contactores Liqui-Cel® se escogieron en lugar de la desaireación por vacío para la extracción de oxígeno < 1 ppb.

Cumplimiento de las especificaciones de calidad del agua para el procesamiento de 300 mm
Este documento revisa las especificaciones históricas y actuales de UPW para el procesamiento de 300 mm. En particular, el documento analiza tecnologías avanzadas, como los contactores Liqui-Cel®, utilizadas para cumplir las nuevas especificaciones.

Lessons Learned: The Installation of a 300 to 600 gpm Semiconductor High-Purity Water System
This paper discusses the technology choices made at VLSI. Liqui-Cel Membrane Contactors were chosen over a 2-stage vacuum tower and the quality advantages of the Liqui-Cel Contactors are highlighted